金融界2025年8月1日消息，国家知识产权局信息显示，上海良薇机电工程有限公司取得一项名为“一种混合气体浓度检测装置、系统和半导体工艺设备”的专利，授权公告号CN223180133U，申请日期为2024年09月气体检测 。
专利摘要显示，本实用新型涉及一种混合气体浓度检测装置、系统和半导体工艺设备，包括混合气体输入单元、浓度分析单元、冷凝单元和检测单元气体检测 。其优点在于，通过将混合气体输入单元与浓度分析单元连通，采用精度更高、延迟更低的质谱仪对TCS浓度进行检测，提升TCS浓度检测的精度和效果；通过将混合气体输入单元与冷凝单元连通，通过对混合气体进行冷凝称重得到冷凝液体的重量和冷凝气体的总流量，并通过冷凝液体的重量和冷凝气体的总流量计算的到TCS浓度，以对质谱检测元件所检测的结果进行验证，提升检测结果的可靠性。
天眼查资料显示，上海良薇机电工程有限公司，成立于2013年，位于上海市，是一家以从事建筑安装业为主的企业气体检测 。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海良薇机电工程有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目21次，财产线索方面有商标信息11条，专利信息87条，此外企业还拥有行政许可8个。
来源：金融界