金融界2025年5月31日消息，国家知识产权局信息显示，重庆奕能科技有限公司申请一项名为“气体浓度检测装置及检测方法”的专利，公开号CN120072672A，申请日期为2025年01月气体检测 。
专利摘要显示，本申请公开了一种气体浓度检测装置及检测方法，检测装置包括：腔体，用于承载晶圆，并在所述腔体内形成半导体工艺所需的预定气体浓度；检测模块，与所述腔体连接，用于从所述腔体内抽取气体并检测预定气体的浓度，其中，所述检测模块包括抽气泵和振动传感器，所述抽气泵用于从所述腔体内抽取气体，所述振动传感器与所述抽气泵连接，用于感测所述抽气泵的振动情况气体检测 。本申请的气体浓度检测装置及检测方法，通过在抽气泵上设置振动传感器，感测抽气泵的振动情况，判断抽气泵是否正常工作进而判断气体浓度检测仪检测的半导体设备的腔体内预定气体的浓度的检测结果是否发生异常。
天眼查资料显示，重庆奕能科技有限公司，成立于2023年，位于重庆市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业气体检测 。企业注册资本640.9775万人民币。通过天眼查大数据分析，重庆奕能科技有限公司共对外投资了3家企业，财产线索方面有商标信息2条，专利信息28条。
来源：金融界